SF6, jew hexafluoride tal-kubrit, huwa gass użat komunement fl-inċiżjoni niexfa, prinċipalment użat għall-inċiżjoni tas-silikon fil-proċess tal-produzzjoni tas-semikondutturi. Il-gass SF6 għandu struttura ottaedrika, li tikkonsisti minn atomu ċentrali tal-kubrit imdawwar b'sitt atomi tal-fluworin. Il-proprjetajiet mhux polari tiegħu jagħmluha gass iżolanti f'tagħmir elettriku ta 'vultaġġ għoli. Il-proprjetajiet fiżiċi ta 'SF6 jinkludu bla kulur, bla riħa, mhux fjammabbli, mhux tossiku, iżolanti, itqal mill-arja, kapaċità ta' tkessiħ, saħħa dielettrika għolja, stabbiltà termali, u solubilità fqira fl-ilma iżda solubbli f'solventi organiċi mhux polari.
F'termini ta 'proprjetajiet kimiċi, SF6 bilkemm jirreaġixxi ma' sustanzi oħra f'temperatura tal-kamra, iżda se jiddekomponi taħt dawl ultravjola qawwi.
SF6 huwa ġeneralment prodott mill-industrija u l-kontenut tagħha fin-natura huwa żgħir ħafna. L-ekwazzjoni tar-reazzjoni għall-produzzjoni SF6 hija:
2 CoF₃ + SF₄ + [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ + [Br₂]
Meta SF₄, COF₃ u BR₂ jitħalltu flimkien u msaħħna f'100 grad, isseħħ reazzjoni bejniethom. F'din ir-reazzjoni, parti minn SF₄ u COF₃ tirreaġixxi biex tipproduċi SF₆ u COF₂. Il-bromu ma jiġix ikkunsmat fir-reazzjoni, jaġixxi biss bħala katalist.
L-SF6 huwa perikoluż?
Għalkemm SF6 mhix tossika fl-istat pur tagħha, hija se tbiddel l-ossiġnu mill-arja, u konċentrazzjoni ta 'volum akbar minn 19% fl-arja tikkawża soffokazzjoni. Għalhekk, huwa importanti ħafna li jiġu skoperti tnixxija ta 'SF6 f'waqtu u tieħu miżuri preventivi xierqa fil-proċess ta' manifattura tas-semikondutturi.
Użu SF6 fl-Industrija tas-semikondutturi
SF6 huwa użat ħafna fil-manifattura tas-semikondutturi. Fil-proċess ta 'inċiżjoni tas-silikon, SF6 jintuża bħala l-gass ewlieni tal-inċiżjoni, u jaħdem flimkien mal-gassijiet volatili ġġenerati SF4 u C4F8 biex jinkisbu inċiżjoni fil-fond tas-silikon. Barra minn hekk, SF6 ħafna drabi jintuża għall-inċiżjoni niexfa ta 'metalli MO u W, li jirreaġixxi ma' dawn il-metalli biex jiġġeneraw hexafluworidi volatili MOF₆ u WF₆. Għalkemm SF6 mhuwiex il-gass preferut għall-inċiżjoni tal-aluminju, jista 'jintuża bħala gass awżiljarju biex itejjeb ir-rata ta' inċiżjoni ta 'l-aluminju meta mħallat ma' gassijiet bħal Cl₂.
Inċiżjoni tas-silikon
Fil-pass tal-inċiżjoni tas-silikon, is-silikon biss fil-qiegħ fejn il-film tal-passivazzjoni tneħħa huwa nċiż. Il-gass SF6 jiġi introdott, u SF6 jiġi dissoċjat fil-plażma biex jiġġenera varjetà ta 'prodotti ta' dekompożizzjoni, inklużi atomi tal-fluworin attivi ħafna (F).
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
L-atomi tal-fluworin iġġenerati jirreaġixxu mal-wiċċ tas-silikon biex jiġġeneraw tetrafluworidu tas-silikon (SIF4), kompost volatili li jinħeles faċilment mill-kamra.
Si+4F-->SIF4
Inċiżjoni tas-saff tal-passivazzjoni tal-qiegħ
F'dan l-istadju, saff ta 'passivazzjoni huwa ffurmat kemm fuq il-ħajt tal-ġenb kif ukoll fuq il-qiegħ. Madankollu, irridu nżommu biss is-saff ta 'passivazzjoni fuq il-ħajt tal-ġenb biex nipproteġu l-ħajt tal-ġenb milli jkun inċiż, iżda għandna bżonn inneħħu s-saff ta' passivazzjoni fuq il-qiegħ sabiex inċiżi 'l isfel. Għalhekk, il-gass SF6 se jiġi introdott f'dan il-ħin biex jattakka s-saff ta 'passivazzjoni fuq il-qiegħ. Wara li s-saff ta 'passivazzjoni fuq il-qiegħ jisparixxi, SF6 ikompli jqabbad is-silikon, u ċ-ċiklu jirrepeti ruħu, bħal linja li ma tintemm qatt.
Fabbrika tal-hexafluworidu tal-kubrit SF6 one-stop fiċ-Ċina
Ibgħat l-inkjesta tiegħek dwar il-gass Sulphur hexafluoride SF6 lilna!
Aħna se nipprovdu gass u servizzi ta 'kwalità għolja SF6 biex jissodisfaw il-bżonnijiet tax-xiri tiegħek.
Ibgħat Inkjesta Issa
