FFKM huwa materjal ta 'siġillar ta' prestazzjoni għolja. Il-prestazzjoni eċċellenti tagħha ppermettiet li l-applikazzjoni tagħha tippenetra fis-sistema kollha tal-manifattura tal-prodotti semikondutturi. Fost dawn, ċrieki tas-siġillar FFKM huma wieħed mill-konsumabbli ewlenin meħtieġa għall-produzzjoni ta 'ċirkwiti integrati.
l-istruttura u l-karatteristiċi tal-prestazzjoni tal-FFKM
FFKM huwa kopolimerizzat minn tetrafluoroethylene (TFE), perfluoroalkyl vinyl ether (PAVE) bħala l-monomeri ewlenin, u ammont żgħir ta 'monomeru tal-punt ta' kura (CSM). Kif muri fil-figura hawn taħt, l-atomi kollha tal-karbonju fil-polimeru L-atomi tal-idroġenu fuq il-gomma huma kollha mibdula b'atomi tal-fluworin, li jagħmilha gomma li ma fih xejn bonds CH.
Karatteristiċi ewlenin tal-prestazzjoni tal-FFKM:
1) Proprjetajiet fiżiċi
Id-densità ta' FFKM hija 1.9-2.0g/cm³. Il-proprjetajiet mekkaniċi tat-temperatura normali tiegħu huma qrib dawk ta 'fluworubber (FKM) ibbażat fuq vinylidene fluoride (VDF), iżda l-proprjetajiet mekkaniċi ta' temperatura għolja tiegħu huma aħjar minn dawk tal-fluworubber.
2) Reżistenza kimika
M'hemm l-ebda atomi ta 'l-idroġenu fil-katina molekulari FFKM, u l-bonds CC huma bażikament imdawra b'qoxra komposta minn atomi F, li turi inertness kimika qawwija u tagħmel il-polimeru reżistenti b'mod sinifikanti għall-kimiċi.
3) Reżistenza għat-temperatura għolja u baxxa
It-temperatura operattiva ta 'FFKM hija ġeneralment 260 ~ 290 grad, u tista' tintuża b'mod intermittenti f'temperaturi għoljin ta '316 grad. Peress li numru kbir ta 'gruppi -OCF3 huma introdotti fil-ktajjen tal-fergħat tal-molekuli, il-flessibilità tal-molekuli titjieb u r-reżistenza għat-temperatura baxxa tal-gomma titjieb.
4) Reżistenza tal-plażma
F'ambjent tal-plażma, juri karatteristiċi tal-prodott ta 'ndafa għolja u preċipitazzjoni baxxa, u jista' jiflaħ il-bumbardament tal-plażma għal żmien twil.
applikazzjonijiet fFKM'S f'semikondutturi
Fil-manifattura tas-semikondutturi, l-affidabbiltà tas-siġilli elastomeriċi hija kritika minħabba li l-waqfien tal-produzzjoni biex jissostitwixxu s-siġilli huma estremament għaljin. Sabiex jiġu evitati riskji potenzjali, ir-rekwiżiti għall-indafa u l-purità tas-siġilli huma stretti ħafna. Fl-istess ħin, is-siġilli għandhom ikunu jistgħu jaħdmu għal żmien twil fl-ambjent tal-pressjoni ta 'temperatura għolja, vakwu għoli u gassijiet kimiċi korrużivi.
F'termini ta 'applikazzjonijiet semikondutturi, FFKM jiffoka prinċipalment fuq:
1) Siġill tal-gass: Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, l-ipproċessar u t-trasport ta 'diversi gassijiet huma essenzjali. L-FFKM O ring jintużaw biex jissiġillaw pajpijiet tal-gass, valvi u ġonot biex jiżguraw li l-gass ma jnixxix u jżomm l-istabbiltà tal-proċess.
2) Inċiżjoni u tindif: Passi ta 'inċiżjoni u tindif fi proċessi ta' semikondutturi ħafna drabi jinvolvu l-użu ta 'midja korrużiva bħal aċidi jew alkali qawwija. FFKM O ring jintużaw ħafna f'partijiet ta 'tagħmir f'kuntatt ma' dawn il-midja, bħal kmamar ta 'inċiżjoni, tankijiet tat-tindif, eċċ minħabba r-reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti tagħhom.
3) Trasport likwidu u kimiku: Fil-manifattura tas-semikondutturi, jeħtieġ li jiġu ttrasportati diversi likwidi u kimiċi, bħal soluzzjonijiet, solventi, fluwidi tat-tindif, eċċ. FFKM O ring jista 'jintuża biex jissiġilla komponenti ta' tagħmir bħal pajpijiet, valvi u pompi biex jiżguraw it-twassil sikur tal-midja.
4) Ambjent ta 'temperatura għolja: Ċerti passi fil-proċess tas-semikondutturi jeħtieġ li jsiru f'ambjent ta' temperatura għolja, bħal trattament bis-sħana, ittemprar, eċċ. L-O-rings FFKM għandhom reżistenza eċċellenti għal temperatura għolja u huma kapaċi jżommu l-elastiċità u s-siġillar tagħhom proprjetajiet f'temperaturi għoljin.
5) Trattament ta 'ilma ultrapur: Fil-manifattura tas-semikondutturi, ilma ultrapur jintuża biex jitnaddaf u jippurifika t-tagħmir u l-materjali. L-O-rings FFKM jintużaw ħafna biex jissiġillaw tagħmir ta 'trattament ta' ilma ultrapur biex jipprevjenu d-dħul ta 'impuritajiet u kontaminanti.
Minħabba l-ispiża għolja tal-materja prima tal-gomma FFKM, il-kundizzjonijiet tax-xogħol fejn normalment jintużaw is-siġilli FFKM huma estremament ħarxa. Taħt dawn il-kundizzjonijiet ħarxa tax-xogħol, gomom oħra huma suxxettibbli għal korrużjoni, nefħa, xoljiment, tixjiħ u ebusija, eċċ., Li jirriżultaw f'falliment tas-siġillar u għalhekk ma jistgħux jissodisfaw ir-rekwiżiti tas-siġillar. Minħabba r-reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti tiegħu u r-reżistenza għat-temperatura għolja, il-gomma FFKM tista 'mhux biss tissodisfa r-rekwiżiti tas-siġillar ta' kundizzjonijiet ħarxa tax-xogħol, iżda wkoll iżid il-ħajja tas-servizz tas-siġilli u tnaqqas l-ispejjeż tal-manutenzjoni tal-klijenti.
